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脉冲和直流电源系统

脉冲和直流电源系统

利用 Advanced Energy 全面的直流和脉冲直流套件推进等离子工艺创新，在提高沉积率、改善薄膜平整度和堆积密度的同时最大限度减少电弧。

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极端电弧条件下的稳定功率输送和高重复性薄膜

Ascent AMS脉冲直流电源系统

随着制造技术的进步，新材料和阴极设计对工艺稳定性和薄膜可重复性提出了更大的挑战。Ascent®AMS电源提供稳定、可重复的电源，无论工艺材料或阴极设计如何。AMS提供先进的电弧管理，允许最大限度地输送功率，并能更快地恢复处理。极快的恢复也意味着通过电弧输送的能量极低，可以防止基板损坏。对于高功率应用，Ascent AMS可用于主/辅配置。常见的应用包括超过100千瓦的输出配置。然而，水/空气冷却的组合设计将发电机的占地面积保持在最低限度。

特点 规格 技术文档

特点

电弧管理系统™（AMS）技术——金属和陶瓷靶的客户预设
Set Point Compensation™技术
Arc Sync®技术--主/辅最多12个单元
以太网、EtherCAT®、DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、以太网/IP和模拟通信
获得高胶片质量和产量
减少薄膜、基板和设备损坏
在极端电弧条件下实现稳定的吞吐量和功率输送
易于集成和控制

规格

技术文档

Ascent Ams Datasheet

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电话：400-888 2679，010-8271 5573

传真：010-6295 4293

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