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脉冲和直流电源系统

脉冲和直流电源系统

利用 Advanced Energy 全面的直流和脉冲直流套件推进等离子工艺创新，在提高沉积率、改善薄膜平整度和堆积密度的同时最大限度减少电弧。

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前所未有的单、双磁控溅射功率控制

Ascent AP脉冲直流电源系统

Ascent®AP电源以AE®一流的双极脉冲直流技术为基础，通过先进的脉冲整形以及包括全电压反转和自调整电弧参数在内的四块渐进式电弧管理，扩展了您优化输出的能力。这种紧凑型解决方案的专利脉冲技术可主动抑制电弧，同时其广泛的操作范围可解锁材料选择，以扩展单磁控管和双磁控管工艺的灵活性和材料创新。

特点 规格 技术文档

特点

具有广泛功率输送参数的工艺定制
通过分层电弧缓解方法进行高级过程管理
紧凑的单机解决方案（最高30千瓦）
Set Point Compensation™技术可实现稳定的吞吐量
广泛的操作范围可实现各种工艺材料
与Advanced Energy™的PowerInsight兼容
电介质和导电膜的精确溅射
扩展的过程控制、灵活性和创新
高胶片质量和产量
可重复、可定制的胶片
更高的功率水平，减少电弧损伤
易于集成和控制

规格

技术文档

Ascent AP Data Sheet

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