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脉冲和直流电源系统

脉冲和直流电源系统

利用 Advanced Energy 全面的直流和脉冲直流套件推进等离子工艺创新，在提高沉积率、改善薄膜平整度和堆积密度的同时最大限度减少电弧。

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先进的双磁控溅射配件

Ascent-DMS脉冲直流电源系统

Ascent® DMS系列为双磁控管溅射提供了前所未有的功率传输方便和控制，能够精确调整薄膜特性。Ascent DMS配件具有可选择的频率、调节模式和占空比，以及低存储能量和简化的模块化系统配置，使其成为真正的下一代技术。它具有成本效益、可扩展性和通用性，可最大限度地降低复杂性、提高质量并提高吞吐量，从而实现先进的流程创新。Ascent DMS MF-120封装为标准阴极提供经济高效的中频电源，同时提供双极脉冲技术优势。

特点 规格 技术文档

特点

模块化和可扩展（40、60和120千瓦型号，可配置功率高达180千瓦）
可选频率（500 Hz至50 kHz）
可调占空比——每个磁控管独立的功率比调节
通过分层电弧缓解方法进行高级过程管理
相位同步
增加薄膜价值：可重复、可定制的沉积薄膜
更低的拥有成本和更高的生产力
更高的功率水平，提高了稳定性，减少了电弧损伤
易于扩展、集成和支持

规格

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地址：北京市海淀区小营西路16号北楼5层

电话：400-888 2679，010-8271 5573

传真：010-6295 4293

邮箱：info@rypower.com

网址：www.rypower.com

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