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脉冲和直流电源系统

脉冲和直流电源系统

利用 Advanced Energy 全面的直流和脉冲直流套件推进等离子工艺创新，在提高沉积率、改善薄膜平整度和堆积密度的同时最大限度减少电弧。

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最受认可的<=20kW工艺直流电源

Pinnacle III脉冲直流电源系统

经过现场验证的Pinnacle®直流发电机提供了卓越的工艺一致性和控制，显著减少了变化并提高了产量。这种紧凑、多功能的封装提供了出色的电弧管理，具有低存储能量、快速电弧响应和宽的全功率工作阻抗范围。

特点 规格 技术文档

特点

降低运营和安装成本
实现快速电弧响应
配置电弧响应
最大限度地提高流程效率
精确控制您的流程
低存储能量——每1千瓦输出小于1 mJ
无抽头更改
输出重复性±0.1%
目标调节周期（TCC）--最大限度地减少新目标的调节时间
焦耳模式——优化的能量输送

规格

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地址：北京市海淀区上地信息路1号2号楼1503

电话：400-888 2679，010-63268128

传真：010-63268128

邮箱：info@rypower.com

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