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脉冲和直流电源系统

脉冲和直流电源系统

利用 Advanced Energy 全面的直流和脉冲直流套件推进等离子工艺创新,在提高沉积率、改善薄膜平整度和堆积密度的同时最大限度减少电弧。

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PEII脉冲直流电源系统

PEII电源提供40 kHz脉冲宽度调制(PWM)。它具有先进的电弧控制和内部负载匹配功能,当单元组合在一起时,输出功率高达60千瓦,不需要变压器或调谐器等外部硬件。电源还提供两个不同的电弧处理电路,浮动输出可以在任意一侧接地。

特点

•高功率密度
•宽抽头范围
•功率、电压或电流的调节
•增强的电弧控制
•自动过程保护
•灵活的模块化
•高效、紧凑的设计
•双阴极和其他反应溅射应用,用于创建节能的光学和玻璃涂层
•双阴极PECVD,生产用于装饰薄膜、食品包装、电容器薄膜和其他薄膜的薄膜和塑料涂层
•PECVD、DLC、金属氧化物和碳涂层,提供工具和摩擦学涂层

规格

技术文档

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传真:010-6295 4293

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