logo
脉冲和直流电源系统

脉冲和直流电源系统

利用 Advanced Energy 全面的直流和脉冲直流套件推进等离子工艺创新,在提高沉积率、改善薄膜平整度和堆积密度的同时最大限度减少电弧。

首页 > 产品中心 > 等离子电源产品 > 脉冲和直流电源系统

脉冲和直流电源系统

返回
22
22
22
22

PEII脉冲直流电源系统

PEII电源提供40 kHz脉冲宽度调制(PWM)。它具有先进的电弧控制和内部负载匹配功能,当单元组合在一起时,输出功率高达60千瓦,不需要变压器或调谐器等外部硬件。电源还提供两个不同的电弧处理电路,浮动输出可以在任意一侧接地。

特点

•高功率密度
•宽抽头范围
•功率、电压或电流的调节
•增强的电弧控制
•自动过程保护
•灵活的模块化
•高效、紧凑的设计
•双阴极和其他反应溅射应用,用于创建节能的光学和玻璃涂层
•双阴极PECVD,生产用于装饰薄膜、食品包装、电容器薄膜和其他薄膜的薄膜和塑料涂层
•PECVD、DLC、金属氧化物和碳涂层,提供工具和摩擦学涂层

规格

技术文档

logo

地址:北京市海淀区上地信息路1号2号楼1503

电话:400-888 2679,010-63268128

传真:010-63268128

邮箱:info@rypower.com

网址:www.rypower.com

版权所有© 北京融源科技有限公司 京ICP备08008520号-2 技术支持:中企云达