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利用 Advanced Energy 全面的直流和脉冲直流套件推进等离子工艺创新,在提高沉积率、改善薄膜平整度和堆积密度的同时最大限度减少电弧。
首页 > 产品中心 > 等离子电源产品 > 脉冲和直流电源系统
PEII电源提供40 kHz脉冲宽度调制(PWM)。它具有先进的电弧控制和内部负载匹配功能,当单元组合在一起时,输出功率高达60千瓦,不需要变压器或调谐器等外部硬件。电源还提供两个不同的电弧处理电路,浮动输出可以在任意一侧接地。
PEII Series Data Sheet
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