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脉冲和直流电源系统

脉冲和直流电源系统

利用 Advanced Energy 全面的直流和脉冲直流套件推进等离子工艺创新，在提高沉积率、改善薄膜平整度和堆积密度的同时最大限度减少电弧。

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3至30kW直流和脉冲直流电源

Solvix®脉冲和直流电源系统

用于金属和反应溅射的Solvix直流和脉冲直流电源提供精确的控制和经验证的可靠性，并得到AE全球支持网络的支持。它们提供广泛的功率和频率水平、脉冲和多种通信选项，为您的独特工艺提供了坚固且经济高效的解决方案。

特点 规格 技术文档

特点

•一流的电弧处理
•直流和脉冲直流装置
•电流、功率和电压调节模式
•灵活的体系结构
•空气冷却
•可配置多个单元以满足高功率要求
•高峰间电压（高频型号）
•专利无抽头宽输出负载阻抗范围（中频型号）
•经验证的可靠性、准确性和可重复性
•全球支持网络
•减少基板损坏和工艺污染
•对各种工艺要求的适应性
•高吞吐量

规格

技术文档

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