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射频匹配网络

射频匹配网络

Advanced Energy 的匹配网络可在多个功率范围内实现快速、准确和可靠的匹配。提供即插即用型号或可配置机组，安装简便，可加快调谐并加强工艺控制。

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快速、准确、可靠的数字调谐匹配

Navigator II 匹配网络

Navigator®ll配备了微处理器控制的步进电机驱动器和先进的调谐算法，实现了优化的射频功率。可选的内部Z'Scan®II射频传感器可实时分析工艺功率和阻抗，使您能够快速识别并显著降低工艺可变性。可选的虚拟前面板软件可用于通过用户的计算机进行监控。

特点 规格 技术文档

特点

具有增强调谐算法的数字架构
脉冲射频功率输送
扫频操作
多频率应用的互调失真（IMD）抗扰度
实时过程功率和阻抗测量
加快调谐/匹配响应时间
加强过程控制
有助于提高工具吞吐量和产品产量

规格

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地址：北京市海淀区上地信息路1号2号楼1503

电话：400-888 2679，010-63268128

传真：010-63268128

邮箱：info@rypower.com

网址：www.rypower.com

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