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射频匹配网络

射频匹配网络

Advanced Energy 的匹配网络可在多个功率范围内实现快速、准确和可靠的匹配。提供即插即用型号或可配置机组,安装简便,可加快调谐并加强工艺控制。

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为高要求的高速匹配应用提供灵活、精确的电源

Navigator II FCi匹配网络

Navigator®II FCi是一个独立的微处理器控制的阻抗匹配网络。该匹配网络包含由分立固态开关电容器阵列调整的调谐元件,需要在更宽的阻抗范围内实现快速、精确的调谐。这些匹配具有与传统匹配类似的形式、占地面积和调谐范围,与传统匹配网络典型的1秒范围相比,它们提供的调谐时间在毫秒范围内。这种高速匹配技术经过优化,适用于关键的、功率敏感的、短持续时间的等离子体工艺步骤,如原子层蚀刻(ALE)。 当配置为全范围调谐时,Navigator FCi可以覆盖与真空电容器匹配相同的阻抗空间。固态电路的紧凑性使匹配能够适应传统版本的类似占地面积。由于没有移动的机械部件,这种匹配消除了传统匹配固有的磨损和漂移机制。这使得在一系列具有挑战性且不断变化的等离子体工艺中具有更高的可靠性和可重复性。

特点

13.56兆赫
CW和脉冲操作
输出测量传感器
空气冷却
在宽阻抗范围内实现快速、准确的调谐
提高可靠性和可重复性
减少电源输送中断和等离子体“熄灭”
利用技术进行短流程步骤,例如ALE应用程序

规格

技术文档

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