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远程等离子体源

远程等离子体源

Advanced Energy 的远程等离子体源功能强大、可靠性高，可增强您的制造和清除工艺。助您定制化学特征，扩展工作范围，提高工艺处理速度。我们先进的方案采用流线型设计，让您能够实现更高水平的效率和生产率。

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远程等离子体源

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Litmas

Litmas RPS可有效输送高浓度的反应性气体，有效减少对环境有害的PFC气体。将先进的电源和电源技术相结合，使用AE获得专利的LitmasMatch™固态电源传输拓扑结构提供了一个宽的操作窗口，以最大限度地提高工艺开发的灵活性。所选择的腔室材料（SiO2或Al2O3）提供低复合以提供高破坏率效率（DRE）和高等离子体密度。这使得能够与广泛的工艺化学物质兼容。优化的设计能够降低公用设施的使用率，延长使用寿命，从而降低总体拥有成本。

特点 规格 技术文档

特点

Litmas RPS有效地输送反应性气体，通过多种腔室材料选项有效减少PFC气体
宽操作窗口，使用AE的专利LitmasMatch™固态电源传输拓扑结构，实现最大的工艺开发灵活性
高破坏率效率（DRE）和高等离子体密度，可与广泛的工艺化学兼容
低公用设施使用率和延长的使用寿命降低了总体拥有成本

规格

技术文档

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