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Advanced Energy的MAXstream™系列是下一代远程等离子体源，用于腔室清洁。MAXstream有3、6、8、10和12 SLPM NF3流速可供选择，以优化价格和性能。Advanced Energy凭借其久经考验的差异化等离子体源材料和技术，确保了长腔室寿命和低颗粒生成。独特的双点火芯设计提供了一流的等离子体点火可靠性。MAXstream RPS具有可靠且每次点火都能启动的特点，为RPS维护提供了更一致的操作和更少的停机时间。MAXstream RPS有助于降低与传统RPS系统的兼容性，简化兼容性设计，并实现对新的可靠和可重复解决方案的无缝现场升级。
