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远程等离子体源

远程等离子体源

Advanced Energy 的远程等离子体源功能强大、可靠性高，可增强您的制造和清除工艺。助您定制化学特征，扩展工作范围，提高工艺处理速度。我们先进的方案采用流线型设计，让您能够实现更高水平的效率和生产率。

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远程等离子体源

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氧基工艺的理想远程等离子体源

Rapid Ox远程等离子体源

由于Rapid OX的可移除石英衬垫，减少了复合效应并延长了氧自由基的寿命。与阳极氧化室相比，所得的反应物种延长了寿命，提高了光刻胶剥离率。由于石英衬里易于操作员安装或拆卸，因此减少了停机时间，并显著降低了更换成本。

特点 规格 技术文档

特点

石英衬垫使其成为光刻胶灰化或碳室清洁工艺的理想选择
可变频率匹配提供了一系列等离子体阻抗操作，由变化的气体化学、压力和功率设定点控制
改进的热管理有助于确保长腔室寿命
Rapid OX由于低动态压力超调而快速点火并达到稳态运行
通过可拆卸和可更换的石英腔室显著减少停机时间和拥有成本
由于高离解率和高密度自由基生成，提高了工艺性能
通过变频调谐和精确的功率控制确保可重复、可控的过程
由于可靠的设计和冷却系统，提高了燃烧室的使用寿命并降低了服务成本
提高工具利用率，减少预防性维护，降低CoO

规格

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电话：400-888 2679，010-63268128

传真：010-63268128

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