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远程等离子体源

远程等离子体源

Advanced Energy 的远程等离子体源功能强大、可靠性高，可增强您的制造和清除工艺。助您定制化学特征，扩展工作范围，提高工艺处理速度。我们先进的方案采用流线型设计，让您能够实现更高水平的效率和生产率。

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远程等离子体源

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高质量、腔室清洁、性能无与伦比的远程等离子体源

Xstream远程等离子体源

高效的Xstream®RPS可分解大量的NF3并快速清洁腔室，提高您的整体工具性能。它的等离子体腔展示了高纯度铝合金和专利冷却能力。Xstream RPS可持续使用数年，无需维修或昂贵的腔室涂层，是可靠性和高效性能的明智选择。

特点 规格 技术文档

特点

高度可靠的RPS最大限度地延长了工具的正常运行时间
有效地将反应物质输送到处理室以提高性能
具有集成有源匹配网络（AMN）的变压器耦合等离子体（TCP）源
225 kHz至660 kHz工作频率
8kW/10kW功率型号
通过定制铝合金和III型硬阳极氧化消除昂贵的腔室涂层
通过将热应力降至最低的冷却系统提高燃烧室性能和耐用性
使用有源匹配网络提高效率并改善等离子体的功率传输
通过实时等离子体测量精确控制功率和工艺
通过获得专利的点火系统实现可靠且可重复的等离子体点火

规格

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地址：北京市海淀区上地信息路1号2号楼1503

电话：400-888 2679，010-63268128

传真：010-63268128

邮箱：info@rypower.com

网址：www.rypower.com

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